Brza poluvodička inspekcija pomoću različitih metoda promatranja mikroskopa
Poluprovodnička inspekcija isječenih kafića i integriranih krugova (ICS) tijekom procesa proizvodnje ključna je za identifikaciju i smanjenje nedostataka. Da bi se poboljšala efikasnost kontrole kvalitete u fazi rane proizvodnje i osigurati pouzdane performanse integriranog kruga, mikroskopska rješenja trebaju biti kombinirana s različitim metodama promatranja za pružanje potpunih i tačnih informacija o različitim nedostacima. Metode promatranja uvedene su ovdje svijetli polje, tamno polje, polarizacija dic, ultraljubičasto, koso osvjetljenje i infracrveno. Oni su integrirani u mikroskope za otkrivanje i razvoj vafla i integrisanih krugova.
Kako koristi industriju prehrane poluvodiča iz mikroskopa
Mikroskopska rješenja igraju važnu ulogu u efikasnoj i pouzdanoj detekciji, kontroli kvalitete (QC), analizu grešaka (FA), te istraživanje i razvoj (istraživanje i razvoj) u industriji prerade poluvodiča u industriji poluprovodnika.
U procesu proizvodnje poluvodiča mogu se pojaviti različite vrste nedostataka u različitim koracima, što može utjecati na normalan rad opreme. Ranije su ove nedostatke otkrivene, to bolje. Ovi nedostaci mogu biti uzrokovani nasumično raspoređenim česticama prašine na vaflu (nasumičnim oštećenjima), ili ogrebotinama, odvojenom i ostatkom premaza i fotorezistom uzrokovanim uvjetima obrade (kao što su tijekom otkazivanja), a mogu se pojaviti u specifičnim područjima vafla. Zbog male veličine mikroskopi su preferirani alat za identifikaciju takvih oštećenja.
Pogotovo u usporedbi s sporiji i skupljim mikroskopima kao što su elektronski mikroskopi (EM), optički mikroskopi (OM) imaju mnogo prednosti. Zbog svoje svestranosti i jednostavnosti upotrebe, optički mikroskopi se obično koriste za kvalitativne i kvantitativne studije oštećenja na golim vaflama i rezanim rešetkama, kao i u sklopu i pakiranju integrisanih krugova (ICS).
Različite metode optičkih promatranja mikroskopije, poput svijetlog polja (BF), tamne polje (DF), diferencijalni kontrast (DIC), polarizacija (UV), ultraljubičast (UV), kosi za brzo i precizno otkrivanje kvarova u pregledima i integriranim procesima inspekcijskih civa.
