Primjena konfokalnih mikroskopa u industriji poluvodiča
U procesu -proizvodnje poluprovodnika velikih razmjera, potrebno je deponovati čipove integriranog kola na pločicu, zatim ih podijeliti u različite jedinice i na kraju pakovati i lemiti. Stoga je precizna kontrola i mjerenje veličine žlijeba za sečenje pločice ključna karika u proizvodnom procesu.
Konfokalni mikroskop je mikroskopski uređaj za detekciju koji je lansirao Zhongtu Instrument, koji se široko koristi u proizvodnji poluvodiča i procesima pakovanja. Može izvoditi be-kontaktno skeniranje i rekonstruirati trodimenzionalnu morfologiju površinskih karakteristika složenih oblika i strmih žljebova za lasersko sečenje.
Konfokalni mikroskop ima odličnu optičku rezoluciju, a kroz jasan sistem snimanja može detaljno posmatrati karakteristike površine pločice, kao što je da li postoje nedostaci kao što su lom ivice i ogrebotine na površini pločice. Električni toranj se može automatski prebacivati između različitih uvećanja objektiva, a softver automatski hvata rubove karakteristika za brzo-mjerenje dvodimenzionalne veličine, čime se efikasnije otkriva i kontrolira kvalitet površine pločice.
U procesu laserskog rezanja pločica, potrebno je precizno pozicioniranje kako bi se osiguralo da se žljebovi mogu rezati duž ispravne konture na pločici. Kvalitet segmentacije pločice obično se mjeri dubinom i širinom žljebova za sečenje. Konfokalni mikroskop serije VT6000, baziran na konfokalnoj tehnologiji i opremljen sa-modulima za skeniranje velike brzine, ima profesionalni softver za analizu sa funkcijama više područja i automatskim mjerenjem. Može brzo rekonstruisati trodimenzionalnu konturu laserskog žljeba testirane pločice i izvršiti analizu više profila kako bi se dobile informacije o dubini i širini kanala -presjeka.
