Primjena infracrvenih mikroskopa u mikrouređajima elektronske industrije
Pozadina Uvod
Sa razvojem nanotehnologije, njegova metoda minijaturizacije od vrha prema dolje se sve više primjenjuje u oblasti tehnologije poluvodiča. IC tehnologija se ranije nazivala "mikroelektronička" tehnologija jer je veličina tranzistora bila na mikrometarskoj skali (10⁻⁶ metara).
Ipak, poluvodička tehnologija brzo napreduje, s novom generacijom koja se pojavljuje svake dvije godine, a veličine se smanjuju za polovicu. Ovo je dobro poznati Mooreov zakon. Prije otprilike 15 godina, industrija poluprovodnika ušla je u submikronsku eru, gdje su dimenzije manje od jednog mikrometra, nakon čega slijedi duboka submikronska era s veličinama karakteristika daleko ispod jednog mikrometra. Do 2001. dimenzije tranzistora su čak pale ispod 0,1 mikrometara, odnosno manje od 100 nanometara. Dakle, nalazimo se u eri nanoelektronike i većina budućih integrisanih kola (IC) će se proizvoditi pomoću nanotehnologije.
Technical Requirements
Trenutno, primarni način kvara elektronskih komponenti je termalni kvar. Statistike pokazuju da je 55% kvarova elektronskih uređaja uzrokovano temperaturama koje prelaze određene granice. Kako temperatura raste, stopa kvarova elektronskih uređaja eksponencijalno raste. Općenito, operativna pouzdanost elektronskih komponenti je izuzetno osjetljiva na temperaturu. Kada je temperatura uređaja u rasponu od 70-80 stepeni, svaki porast od 1 stepen smanjuje pouzdanost za 5%. Stoga je potrebno brzo i pouzdano mjerenje temperature komponenti. Kako se poluvodički uređaji i dalje smanjuju u veličini, postavljaju se sve veći zahtjevi za temperaturnu rezoluciju i prostornu rezoluciju opreme za inspekciju.
