Sistem za snimanje elektronskim mikroskopom
1. Objektiv i stigmator
Objektivno sočivo je prvo slikovno sočivo u sistemu za snimanje. Performanse elektronskog mikroskopa uglavnom su određene optičkim karakteristikama objektiva. Bilo koja nesavršenost sočiva objektiva biće dodatno uvećana drugim sočivima u sistemu za snimanje. Zbog toga je potrebno da aberacija sočiva objektiva bude što manja, a uvećanje dovoljno veliko, a sočivo objektiva sa jakom ekscitacijom, kratkom žižnom daljinom (15-3mm) i dijafragmom sočiva objektiva su obično koristi se za smanjenje sferne aberacije. Budući da je optički otvor premali, rezolucija objektiva će biti smanjena zbog efekta difrakcije i interferencija elektronskog snopa će biti jaka zbog efekta zagađenja optičkog ruba, tako da optički otvor ne može biti premali .
Stigmatizator je važan dio koji osigurava poboljšanje rezolucije sočiva objektiva. Koristi magnetsko polje s podesivom snagom i orijentacijom za korekciju aksijalnog astigmatizma uzrokovanog ne-osesimetričnim objektivom.
Uobičajeni elektromagnetski stigmatizator se sastoji od dvije grupe po četiri para elektromagneta ravnomjerno postavljenih oko razmaka između stubova. Formirana dva eliptična ispravljajuća magnetna polja su okomita jedno na drugo, a promjenom intenziteta pobude i smjera magnetskog polja dvaju seta elektromagnetika - može se formirati nerotaciono simetrično korektivno magnetsko polje. Ako je njegova snaga jednaka polju astigmatizma sočiva, a smjerovi su okomiti jedan na drugi, može eliminirati astigmatizam.
2. Srednje ogledalo i ogledalo za projekciju
Srednje ogledalo je slabo magnetno sočivo sa velikom žižnom daljinom i promenljivim uvećanjem. Unutrašnja rupa stuba je veća, a uvećanje je između 0-20. Kada je uvećanje veće od 1, koristi se za povećanje zrcala objektiva; kada je uvećanje manje od 1, koristi se za smanjenje zrcala objektiva.
Projekciono ogledalo je jaka magnetna leća kratke žižne daljine, koja koristi gore-dole simetrične cipele sa malim otvorom - da bi se dobilo veliko uvećanje. Projekciono ogledalo ima određenu struju pobude, koja ima ulogu povećanja srednje slike i projektovanja je na fluorescentno platno.
3. Trostepeno pojačanje
Najveće uvećanje elektronskog mikroskopa određuju faktori kao što su performanse instrumenta, rezolucija fotografske osnovne ploče (ili fluorescentnog ekrana), itd. Uopšteno govoreći, sistem za snimanje sa sekundarnim uvećanjem može dobiti elektronsku sliku uvećanu za 200,000 puta. Leća objektiva uvećava detalje uzorka za 100 puta i formira sliku na ogledalu objektiva, dok srednje ogledalo uvećava sliku objektiva za 20 puta i slika je na ogledalu za projekciju; projekcijsko ogledalo uvećava sliku srednjeg ogledala za 100 puta i formira sliku na fluorescentnom ekranu. Podešavanje broja pojačanih monaha može se realizovati promjenom uzbudljive struje srednjeg umetka. Nakon što se promeni struja ekscitacije srednjeg grada, struju pobude sočiva objektiva takođe treba promeniti na odgovarajući način kako bi se osiguralo da se zrcalna ravnina objektiva pomeša sa srednjom montažnom površinom, kako bi se dobila jasna slika objektiva. fokusna tačka.
U trostepenom sistemu snimanja, ako se promeni struja pobude objekta, slika sočiva objektiva se može napraviti ispod srednjeg nosača.
Ogledalo objekta je "virtualni objekat", koji se formira u malu stvarnu sliku na površini objekta A projekcijskog ogledala. Projekciono ogledalo se slika na fluorescentnom platnu, tako da se može dobiti elektronska slika uvećana hiljadama do desetina hiljada puta. Izobličenje slike proizvedeno ovom metodom može se smanjiti međusobnom kompenzacijom poluga izobličenja srednjeg ogledala i jastučastog izobličenja projekcijskog ogledala.
Ako je sočivo objektiva zatvoreno i srednje ogledalo se koristi umjesto grada objekta za snimanje, uvećanje se može smanjiti na oko 100-300 plus i mogu se dobiti slike sa većim vidnim poljem.
