Koji je princip rada skenirajućeg elektronskog mikroskopa?
Zbog činjenice da se transmisiona elektronska mikroskopija koristi za TE snimanje, potrebno je osigurati da debljina uzorka bude u rasponu veličina u koji elektronski snop može prodrijeti. Da bi se to postiglo, potrebne su različite glomazne metode pripreme uzoraka za transformaciju velikih uzoraka do nivoa prihvatljivog za transmisijsku elektronsku mikroskopiju.
Cilj koji naučnici teže je da direktno iskoriste svojstva materijala površinskih materijala uzoraka za mikroskopsko snimanje.
Kroz napore, ova ideja je postala stvarnost - skenirajući elektronski mikroskop (SEM).
SEM - Elektronski optički instrument koji skenira površinu posmatranog uzorka vrlo tankim elektronskim snopom, prikuplja niz elektronskih informacija generiranih interakcijom između elektronskog snopa i uzorka, te slike nakon konverzije i pojačanja. To je koristan alat za proučavanje trodimenzionalnih površinskih struktura.
Njegov princip rada je:
U visokovakuumskoj cijevi sočiva, snop elektrona generiran elektronskim pištoljem fokusira se u fini snop pomoću elektronske konvergentne leće, a zatim skenira i bombardira površinu uzorka točku po tačku kako bi se stvorio niz elektronskih informacija (sekundarni elektroni, nazad refleksijski elektroni, transmisioni elektroni, elektroni apsorpcije, itd.). Detektor prima različite elektronske signale, pojačava ih elektronskim pojačalom, a zatim ih unosi u cijev koju kontroliše mreža cijevnih cijevi.
Prilikom skeniranja površine uzorka fokusiranim elektronskim snopom, zbog različitih fizičkih i hemijskih svojstava, površinskog potencijala, elementarnog sastava i konkavne konveksne morfologije površine na različitim dijelovima uzorka, elektronska informacija pobuđena elektronskim snopom je različit, što rezultira konstantnom promjenom intenziteta elektronskog snopa cijevi za snimanje. Konačno, slika koja odgovara površinskoj strukturi uzorka može se dobiti na fluorescentnom ekranu cijevi za snimanje. Prema različitim elektronskim signalima koje detektor prima, može se dobiti slika povratno raspršenih elektrona, slika sekundarnih elektrona i slika apsorpcionog elektrona uzorka.
Kao što je gore opisano, skenirajući elektronski mikroskop uglavnom ima sljedeće module: modul elektronskog optičkog sistema, visokonaponski modul, modul vakuumskog sistema, modul za detekciju mikro signala, kontrolni modul, upravljački modul stola mikro pomaka itd.
